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发布时间:2020-02-21 07:27:00
光学石英玻璃特性
01)远紫外光学石英玻璃(JGS1),含有大量的羟基(2000ppm),具有优良的透紫外性能,特别是在短波紫外区,其透过性能远远地胜过所有其他玻璃,在185μm处的透过率可达90%,合成石英玻璃在2730nm处具有很强的吸收峰,无颗粒结构。是185—2500mμ波段范围内的优良光学材料。
2)紫外光学石英玻璃(JGS2),含有几十ppm的金属杂质。在2730nm处有吸收峰(羟基含量100-200ppm),有条纹和颗粒结构。它是透过220—2500μm波段范围内的良好材料。
3)红外光学石英玻璃(JGS3)含有几十ppm的金属杂质。有小气泡,颗粒结构和条纹,几乎不含(OH),具有较高的透红外性能,透过率高达85%以上,其应用波段范围260—3500μm的光学材料。
大口径石英管作为石英管的一种,使用的十分的广泛,对于大口径石英管我们平时在使用之于也要记得经常的去养护,首先我们先来了解一下石英吧!石英是一种无机矿物质,主要成分是二氧化硅,常含有少量杂质成分如Al2O3、CaO、MgO等,为半透明或不透明的晶体,一般乳白色,质地坚硬。石英在众多石材中,石英是主要的装饰材料之一。
PECVD中用的石英管规格主要有两种:30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用: 1) 石英管是硅材料,它界定了反应的范围,使反应均匀。做真空chamber用;石英管,结合前后盖板,提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用, 本身不产生等离子体,是微波源与铜波导管产生的。 2)干净,优质石英源瓶,钠离子含量低; 为什么要定期更换石英管? 定期更换石英管,也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了,石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx,影响石英管的激发效果,会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数,所以要定期更换。
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