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PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。石英管的使用和维护1、石英管软化的软化点为1270度，在1200度使用时不要超过3小时。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。

大口径石英管作为石英管的一种，使用的十分的广泛，对于大口径石英管我们平时在使用之于也要记得经常的去养护，首先我们先来了解一下石英吧！石英是一种无机矿物质，主要成分是二氧化硅，常含有少量杂质成分如Al2O3、CaO、MgO等，为半透明或不透明的晶体，一般乳白色，质地坚硬。石英在众多石材中，石英是主要的装饰材料之一。在具体应用中双色石英管液位计具体维护***要点如下：1、包装后的水位计可用常规的运输工具运输，但应避免剧烈振动和雨雪直接侵蚀。

随着人们对石英管材的不断了解，越来越多的人知道，纯度是石英管的重要指标，对理化性能和使用性能影响甚大，如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等；此外，用于半导体工业的石英玻璃，对纯度的要求更为苛刻，微量的杂质将给半导体材料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。液位计是直观式就地指示仪表，它安装在各种容器上，直接观察其内部液位高度。

石英管石英石产品市场与20年石材市场，10年前人造石市场状况相似，在未来市场将以每年500%的速度递增，具有巨大的市场空间。升温快、热惯性小，耐高温、耐腐蚀，热化学性能稳定性好，运用寿命长，绝缘强度高。***初，石英石只应用在对表面要求较高的橱柜台面、家具台面、实验室操作台上。随着经济发展和市场进一步成熟，国外更多的地面、墙面、家具等各个领域开始使用石英石，比如各种大型酒店，豪华住宅，***性建筑，石英石正逐步成为天然石材的替代产品。