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发布时间:2020-03-19 21:55:50
石英管在现在的市场上是很受到欢迎的,他可以广泛的应用于化学、电子纺织等各行各业方面,之所以适用范围广,是因为石英管的性能比较强,大口径石英管也属于石英管的一种,只不过是规格形态上发生的变化,适用于一些特定的场合。
石英管可以分为透明石英管、乳白石英管和红色石英管,石英管的性能同样在大口径石英管具备。热稳性好:大口径石英管热膨胀系数***,能够承受住温度的剧烈变化,不会因为其温差的突变而***;透光性能好:石英玻璃在整个波段都有较好的透光性能,透过率很高;电绝缘性性能好:石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的一万倍,是很好的电绝缘材料,即使在高温状态之下,也是具有良好的绝缘性能,这写特性在生活当中都有着很好的运用。
PECVD中用的石英管规格主要有两种:30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用: 1) 石英管是硅材料,它界定了反应的范围,使反应均匀。做真空chamber用;石英管,结合前后盖板,提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用, 本身不产生等离子体,是微波源与铜波导管产生的。 2)干净,钠离子含量低; 为什么要定期更换石英管? 定期更换石英管,也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了,石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx,影响石英管的激发效果,会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数,所以要定期更换。
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